在單一固相，氣相，液相中進行的化學反應，即在反應過程中與其他物相沒有物質交換的反應。

固體均相反應是指在單一的固相中結構組元發生的局域重排過程。

例如在鎳鋁尖晶石NiAl2O4中，鎳和鋁離子分別占據氧離子構成的四面體和八面體格位。在溫度變化時，鎳和鋁離子在兩種格位上的分布可以發生變化。這種離子格位的重排反應可以利用鎳離子的光譜變化測定。

在均相反應中，不存在原子或離子的長程運動和組合物相的體積也不發生改變。材料的很多相變過程，特別是二級相變過程屬于均相反應。